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Field-emission cathode micro-electro-mechanical system technology for sensors, diagnostics, and microelectronics

机译：用于传感器，诊断和微电子的场发射阴极微机电系统技术

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Morse, J.D.; Koo, J.C.; Graff, R.T.; Jankowski, A.F.; Hayes, J.P.;
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年度 1998
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